在17世紀(jì),人們發(fā)現(xiàn)把兩塊凸透鏡組合起來(lái),能明顯的提高放大能力,這種裝置就是顯微鏡的前身。一架真正的顯微鏡,是用一片凸透鏡和一片凹透鏡重疊起來(lái)組合而成,又稱(chēng)為復(fù)式顯微鏡,是荷蘭眼鏡匠詹森父子制成的,后來(lái)經(jīng)意大利天文學(xué)家伽利略加以改良,顯微鏡才有了更佳的效果。
1932年,德國(guó)科學(xué)家諾爾和魯斯卡在柏林制成了世界上首臺(tái)電子顯微鏡。電子顯微鏡用電子束代替光束,用磁場(chǎng)代替透鏡來(lái)觀察細(xì)微物體。
電子顯微鏡一下子把放大倍數(shù)提高到1萬(wàn)倍。到20世紀(jì)90年代,世界上已經(jīng)研制出放大率200萬(wàn)倍的電子顯微鏡,人們利用它看到了物質(zhì)的內(nèi)部的精細(xì)結(jié)構(gòu)??匆?jiàn)所有物質(zhì)都是由一些肉眼看不見(jiàn)的極小極小的微粒組成的,發(fā)現(xiàn)了原子世界。1983年,人們發(fā)明了掃描隧道顯微鏡。這種顯微鏡比電子顯微鏡更先進(jìn)。自從掃描隧道顯微鏡發(fā)明后,世界上便誕生了一門(mén)以0.1納米至100納米這樣的尺度為研究對(duì)象的新學(xué)科,這就是納米科技。